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                螺桿式真空機組生產廠家半導體合成行業

                螺桿式真空機組生產廠家半導體合成行業

                【摘要】:
                羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵,靠泵腔內一對“8”字形轉子同步、反向旋轉的推壓作用來移動氣體而實現抽氣的真空泵。通常抽氣速率較大,配置電機功率較小,故需要前級泵預抽,到前級泵抽到規定真空度后,啟動羅茨真空泵,來提高抽速和真空度。它的結構和工作原理與羅茨鼓風機相似,工作時其吸口與被抽真空容器或真空系統主泵相接。羅茨真空泵的轉子與轉子之間,轉子與泵殼之間互補接觸。 主要優勢 泵內運轉件無摩擦,不用潤滑,泵腔內無油,可獲得清潔真空 二葉漸開線擺線型線,高精度精密機械加工確保運轉平穩安靜 泵腔內氣體垂直流動,有利于被抽氣體中的灰塵與冷凝物的排出 完全對稱且精密動平衡的高強度轉子運轉平穩可靠 高密度齒輪,進口軸承,振動、噪音小 全新全方位立體水冷夾套設計,對泵體進行有效降溫,大大延長泵使用壽命 過流面可鍍鎳、鍍哈氏合金、襯四氟,可以適應不同強度的腐蝕性環境。 可以方便與液環真空泵、旋片真空泵、干式真空泵等組成羅茨真空機組

                羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵,靠泵腔內一對“8”字形轉子同步、反向旋轉的推壓作用來移動氣體而實現抽氣的真空泵。通常抽氣速率較大,配置電機功率較小,故需要前級泵預抽,到前級泵抽到規定真空度后,啟動羅茨真空泵,來提高抽速和真空度。它的結構和工作原理與羅茨鼓風機相似,工作時其吸口與被抽真空容器或真空系統主泵相接。羅茨真空泵的轉子與轉子之間,轉子與泵殼之間互補接觸。
                主要優勢
                泵內運轉件無摩擦,不用潤滑,泵腔內無油,可獲得清潔真空
                二葉漸開線擺線型線,高精度精密機械加工確保運轉平穩安靜
                泵腔內氣體垂直流動,有利于被抽氣體中的灰塵與冷凝物的排出
                完全對稱且精密動平衡的高強度轉子運轉平穩可靠
                高密度齒輪,進口軸承,振動、噪音小
                全新全方位立體水冷夾套設計,對泵體進行有效降溫,大大延長泵使用壽命
                過流面可鍍鎳、鍍哈氏合金、襯四氟,可以適應不同強度的腐蝕性環境。
                可以方便與液環真空泵、旋片真空泵、干式真空泵等組成羅茨真空機組